第3667章 193浸润式微影技术

“现在在ASML里面，争吵的分歧集中在哪里，哪种声音更具优势话语权？”

赵长安举杯和学长碰了一下，喝了一口酒，没有夹菜问。

“喝了酒吃点菜，这样不伤胃。这家中餐馆的老板是中国人，我到阿姆斯特丹的时候，只要时间来得及，都会过来吃一顿家乡菜。虽然味道和国内的有点区别，可也还算地道。”

萧扬明热情的招呼赵长安夹菜，自己也夹了一筷子，咀嚼中带着怀念的味道幽幽的说道：“从到北美留学开始，我有十几年没有回国了，听说国内的变化很大。就是不知道我们那庄子里面是不是还那么穷，一年到头也就过年能吃个荤腥，主粮一半是面食一半是红薯当家。”

赵长安这几年经常出国，也发现了一个奇怪的现象，就是在某地见到出国多年的游子的时候，他们往往更喜欢邀请他吃当地的中国菜馆。

似乎想要通过这个方式向来自国内的老乡证明，自己虽然身处异国他乡，可从来都没有忘记自己的根。

可赵长安这么千里迢迢的过来，是要尝一下这不伦不类的‘地道的中国菜’么？

而且你自己也说了十几年没有回国，萧扬明在麻省理工硕士毕业以后，就进入了飞利浦北美分公司，后来调到荷兰总公司，改签ASML参与PAS500的技术升级。

在他进入ASML的时候，就已经是这家公司在全世界市场份额的高速扩张期，工资绝对不会太低，而且每年的年假也肯定会有。

这样的一个人，居然在自己面前感叹，说十几年没有回国。

即使没有回国，总可以通过书信和电话和家里人联系吧，能不知道国内现在老百姓的日子已经过好了？

只不过家家都有本难念的经，赵长安虽然好奇可并不在意，谈正事就谈正事，没有必要和他东扯西扯打感情牌的节外生枝。

只是淡淡的说道：“现在国内老百姓的日子变好了，不说顿顿有肉，可隔三差五总能打个牙祭。”

夹了一筷子水煮肉片，除了麻辣咸油没有别的味道，肉片还柴，估计是放了不知道多久的冷冻肉，真是聪明和智慧全都用在这上面去了。

“目前最稳妥的就是研发157nm纯氮气环境中的干式光波雕刻步进机，虽然Nikon和Canon在这个研发方向上占有绝对的技术优势，不过作为世界头部级企业，他们这几年几十亿美元的投资和现在拿到的诸多技术专利，正是说明这条路的可行性。”

萧扬明说道：“如果选择跟进这条路，对于其余所有的企业来说都是一条最愚蠢决定，这等于是砸进去几十亿美元，制造出来一种就算是能够研制成功，但是很有可能就像之前的PAS2000，2500那种有产品没市场的商品，这么大的损失，这些股东除非疯了才会同意。要么也可以，Sematech（m国半导体制造技术联盟）中的m国机构，真金白银的掏出来这几十亿，想要EUV-LLC联盟投资，根本就没有任何的可能。”

“也就是说Sematech美方非企业组织，对157nm纯氮气干式技术感兴趣？”

赵长安说道：“这和他们花这么大的力气，甚至把硅谷集团（SVG）也出售给ASML的初衷不符。”

“MIT（麻省理工学院林肯实验室），得州大学，m国国防部、能源部、国家实验室、国家科学委员会、国家标准及技术院，都一直在游说ASML，进行这个方向的技术推进。”

萧扬明说道：“第二个方向就是进行157nm的液体介质浸没式光刻，这个方向的风险性太大，几乎等于要把原来已经成熟的193nm干式架构全部推到重新架构，这个方案虽然也有一定的呼声，不过并不大，至少在目前技术水平下，还有着太多的障碍没法攻克。而且无论是时间的跨度还是海量的投资，都能让人窒息。然而几乎所有真正懂得步进机原理的都知道，157nm进程早晚都要面对，即使现在规避，可等到摩尔定律到了时间压缩的极限，还是最终需要重启。”

“在这两种方案的对比下，Sematech美方非企业组织显然觉得，ASML可以和Nikon和Canon进行同质化研发，这样至少可以保持住ASML在光刻机领域的世界前三强的位置，制约东洋。”

在90年ASML推出PAS5500之前，ASML在全球光刻机领域的市场份额，几乎可以忽略不提，而且自从成立起就一直处于亏损状态，整整亏损了六年。

这里面幸亏有飞利浦持股27.4%的台积电的订单，不然ASML生产出来的PAS步进机，根本就没有人买。

而从PAS5500开始，只是靠着这一款产品，ASML就一路挤掉全球诸多的光刻机企业，成为全球第三。

也正是凭借着PAS5500的亮眼表现，让欧洲和老m突然对有可能超过Nikon和Canon，成为全球光刻机霸主，充满了一种热血的冲动和渴望，不愿意在这个领域受制于人。

连忙不请自来的屁颠屁颠的到处串联，于97年组建Sematech联盟。

到了99年开始收购硅谷集团（SVG），这是美国本土唯一的一家大型光刻机企业，ASML更是超过Canon，一跃成为光刻机领域排名世界第二，仅次于Nikon。

也正是这种危机感，让Nikon和Canon这两家东洋企业不计前嫌的联手，研发下一代的157nm光刻机。

而英特尔，摩托罗拉，AMD等看到这一幕，向Nikon和Canon提出了休战合议，就是组建EUV-LLC联盟（极紫外光刻技术），由这些公司投资参股Nikon和Canon剥离光刻机部门，这种简直就是抢劫的行为，东洋那边一片骂声，当然不会同意。

当年的广场协定，可把东洋坑的不轻，这次自然不愿意再当上当的傻比。

于是英特尔，摩托罗拉，AMD这些企业又找到ASML，提出可以提供资金研发EUV光刻机，才有了ASML现在的路线争论。

“还有对雕刻源的选择，除了DUV和EUV，XPL（X射线近场光刻）、电子束光刻和离子投影光刻，这四种雕刻源代表着四个不同的方向，全球都有企业和研发机构在推进这些雕刻技术。不过除了这些，目前在公司里面呼声最高的是193nm浸润式光刻技术。”

赵长安听的愣了一下，有点惊讶的望着萧扬名。

“在去年底的全球SPIE微光刻会议上，MIT的报告表明，在纯水环境157nm技术有着太多的难题和不稳定性，然而对于193nm，则和空气中的数据几乎没有任何的区别。”

萧扬名说道：“长安你可能没太明白这个报告的意义，其实只要你事后稍微想一下就明白了，尤其你也是微电子专业。这也就是意味着可以利用成熟的193nm工艺，浸润式微影技术将镜头与晶圆的介质从折射率n~1的空气，改成ｎ= 1.44的水（对应波长为193纳米光），形同将波长等效缩小为134纳米。这样就解决了这个最根本的波长问题。”

“这个技术呼声最高的是飞利浦，英特尔，卡尔蔡司，这些EUV-LLC联盟成员。因为一旦成功，ASML的市场份额就会从全球第二，进入全球第一，而且把Nikon和Canon甩开一个断层。不过这个技术上的难题依然很多，同样是即使投入大量的资源，也不能说就一定可以研发成功。”