第1631章 这技术我真没见过
寿荣昌深吸一口气，努力让自己的声音显得浑厚。
但因为面罩的缘故，反而有些沉闷：
“开箱！”
两名早已准备好的SMEE工程师，一脸严肃地走到货柜前。
他们各自手持一把造型奇特的银色钥匙，并分别将其插入位于货柜上下两端的两个锁孔。
两人默契地同时开始倒数：
“三……二……一……开！”
两柄钥匙几乎同时转过90°、
货柜正面，一盏醒目的红灯瞬间跳转为稳定的绿灯！
“滴滴！”电子锁解除的提示音短促而清晰。
紧接着，一阵轻微的液压泄气声传来。厚重的双层合金柜门，沿着精密的滑轨，缓缓地、平稳地向两侧无声滑开。
一层厚厚的、透明度极高的钢化玻璃护罩显露出来。
透过玻璃，可以清晰地看到被多层柔性防震材料牢牢包裹、固定在特制支架上的核心——
那套传说中的“全新物镜系统”模组。
模组整体呈圆柱形，体积比众人想象中要紧凑得多。
虽然镜片表面全都覆盖着黑色的遮光保护罩，但大致轮廓和镜片分布清晰可见。
“咦？”
跟在张汝宁身后的范洪杰忍不住发出一声低低的惊呼，在极度安静的车间里显得格外清晰。
他立刻意识到失态，有些尴尬地扶了扶护目镜，解释道：“抱歉……我是说，这模组的集成度……在DUV系统里，我至少有十来年没见过了！”
十几年前，DUV光源才刚刚引入光刻系统。
模组简单，是因为性能相对较低。
但现在拿出这么个紧凑的系统，显然是另一回事。
“别急。”张汝宁回头看了他一眼神秘地笑了笑，“更让你震惊的，还在后面呢。”
语毕，他和寿荣昌二人亲自上前，小心翼翼地一齐发力将巨大的护罩缓缓移开。
紧接着，几名穿着洁净服、戴着特制手套的工程师上前，在张汝宁的亲自指导下，极其谨慎地解除了模组的固定装置，然后合力将其沿着精密滑轨，平稳地转移到旁边一个特制的光学装配平台上。
当模组稳稳落位后，最关键的时刻到了。
又是两名工程师上前，用特制的工具，极其轻柔、精确地，逐一取下了覆盖在每一个镜片组上的黑色遮光保护罩。
物镜组的真容，终于毫无保留地展现在所有人眼前！
银灰色的精密金属镜筒内，十四个大小不一、形状各异的镜片组按照特定的顺序排列组合，镜片边缘在无影灯的照射下闪烁着独特的光泽。
“这……”孔学武双眼猛地瞪圆，下意识地往前凑了一步，有些难以置信地嘟囔着，“这……这光路结构……怎么看着像个……复古的纯折射式物镜组？”
要知道，从三代之前的ArF-850开始，长光集团就放弃了纯折射模组，转而引入折反式系统。
寿荣昌也眉头紧锁，绕着装配平台走了一圈，手指在虚空中比划着。
他作为整机集成专家，对光路极其敏感。
“奇怪……”寿荣昌的语气中充满困惑，“我好像有点看不懂这个镜头组的光线通路……”
说完，他后退几步，又比划了两下。
还是得到了一样的结果：
“无论假设光源从1号镜（最上方的凸透镜）还是2号镜的位置入射，按照这些镜片的曲率和棱镜角度，光线似乎都无法有效汇聚到底镜上……反而感觉会从侧面，比如5号或者7号棱镜的位置，直接折射或者反射出去？”
他看向张汝宁和栗亚波，试图寻求答案。
但并没有马上得到回应。
就在众人被这奇特结构吸引，低声讨论，充满疑惑之际，张汝宁移步到装配平台旁边一台悬挂的大尺寸触控显示屏前。
他伸出戴着无尘手套的手指，轻点两下唤醒屏幕然后迅速输入了一长串复杂的动态密钥。
屏幕亮起，瞬间切换到一个高度复杂、标注详尽的三维光路设计图界面。
张汝宁转过身，面向众人。
刚刚还在低声讨论的寿荣昌、范洪杰、孔学武等人瞬间噤声。
整个超净车间里，只剩下空气循环系统的低鸣，以及二十几道凝聚着震惊、好奇与求知欲的目光，齐刷刷地聚焦在那块大屏幕上。
只有少数几名跟随张汝宁全程参与研发和测试的长光及火炬核心成员除外，
他们脸上露出了然于胸的会心笑容，饶有兴致地等待着同事们接下来的精彩反应。
“各位，”张汝宁的声音透过口罩，清晰而沉稳，“这就是我们‘全新ArF-1800物镜系统’的核心设计。”
他指向屏幕中央复杂的光路图：“首先，大家最关心的光路问题。”
光路图被高亮，一条虚拟的、代表193nm DUV激光束的紫色线条开始沿着预设路径动态延伸。
“光源，从这里，1号凸透镜上方特定角度入射。”光点精确地落在1号镜上。
“然后，光线会依次经过这里、这里……”代表光路的紫色辅助线快速在几个镜片间跳跃，“注意看这里，5号棱镜！还有这里，7号棱镜！光线在它们表面，并非单一地折射或反射……”
随着他的讲解屏幕上5号和7号棱镜的位置被放大、高亮。
然而，两股光束在接触到棱镜表面时，竟然诡异地走向了两个方向！
一股清晰地沿着折射路径穿透棱镜继续前进，而另一股则沿着反射路径改变了90度方向！
“这……这怎么可能？！”范洪杰心中狂震，差点喊出声。
他死死盯着屏幕，感觉脑子有点发钝：
一个光学元件，怎么可能同时承载折射和反射功能？
在物镜系统内，折射元件表面的反射效应是主要干扰之一，要尽可能消除的。
但张汝宁却没有停顿，继续引导光路前进：“……经过16次折射和4次关键反射后，最终，光线会在这里——底镜，被完美汇聚！”
光点最终精准地聚焦在代表硅片平面的目标点上。
很快，范洪杰就意识到，问题不只出在那两处。
通过3号和12号镜片的折射光路走向也非常奇怪，看上去就好像把把镜面轮廓给画错了一样……
他强压下立刻提问的冲动，只是把关键疑点记在脑子里，准备事后细问。
然而，张汝宁的解释反而更快一步。
“好，光路清楚了。”他的语气变得无比严肃，“现在强调安装和调试的核心关键点！”
“整个物镜组的核心，是这四块镜片！”指尖依次点中3号透镜、5号棱镜、7号棱镜、12号透镜，它们在屏幕上闪烁着醒目的高亮轮廓线。
“它们由一种革命性负折射材料制成。”张汝宁语气平淡地吐出了一个石破天惊的名词，“其中3号和12号透镜的主要功能是消除系统色差，确保成像清晰度。”
“而5号和7号棱镜，”张汝宁继续介绍，“利用负折射材料的特殊光学性质，同时发挥折射和反射功能，避免垂直入射的光线被其它元件遮挡……”
“……”
他环视全场：
“正因如此，这套物镜组在安装、定位和校准过程中，其基准点设置，与我们之前的ArF-1500系统完全不同，不再是传统的1号镜、中间镜、底镜三点校准！”
屏幕上，四个红色三角精确地标定在3号透镜、7号棱镜、12号透镜以及底镜的位置上。
“而是3号、7号、12号、底镜，四基准点校准！其定位精度要求和相互关联的复杂程度，远超以往任何型号，这也是为什么必须由我们最精锐的原班人马亲自操刀，SMEE和华芯的同志密切配合……”
“……”
实际上，后面这部分内容，张汝宁大概率要再说一遍了。
因为当“负折射材料”五个字从他口中吐出的瞬间，大部分人就已经进入了呆若木鸡的状态。
尤其范洪杰，更是瞬间明白了什么叫“更让你震惊的在后面”。
好嘛！
这技术，我是真没见过……