第263章 华清大学的光刻机
华清大学，精密仪器系大楼，一楼。
整个一楼，都被建设成为了精密光学仪器加工工厂，在内部被称为9003实验基地，而华清大学的光刻机，就是在这里诞生的。
大年初三，已经到了上班的时间，大楼里人来人往。
一名瘦弱的中年人，走进了9003实验基地的办公室，刚刚想要换衣服，通过强力风道进入，开始一天的工作，就被人叫住了。
“老徐！”
徐教授扭头，看向叫自己的人，系主任沈钊，同时也是这个加工厂的厂长。
“老徐，走，先去会议室里开个会。”
“好。”
会议室内的气氛……有些不一样啊，刚刚过年回来，大家伙难道不应该是喜笑颜开的吗？怎么个个愁眉苦脸的样子？
“大家伙都到齐了，咱们开会。”沈主任开口：“昨天的时候，我去上面相关部门拜年，电子工业系统的领导说，我们的光刻机项目的研发经费，可能会……”
徐教授的心瞬间咯噔一下：“会怎么样？”
“会大大的缩减，毕竟……我们国家要搞经济建设，很多项目都要忍耐，我们的光刻机……到目前为止，就卖出去了两台，根本就无法支撑起来庞大的研发经费，所以……”
徐教授腾的一下子站了起来：“没错，国家是要搞经济建设，但是，我们光刻机，也是为了国家的经济建设服务的，我们能制造出来一流的芯片，那就意味着能获得大笔的利润，甚至能出口创汇！”
“是啊，道理是这个道理，但是现在……”沈主任有些无奈地开口：“现在，我们研发的光刻机，根本就没有单位采购，庞大的研发经费无法转化为生产力，所以……”
“哼，国内的很多企业，都希望能从国外采购，明明国外的设备还不如我们的先进！”徐教授恼火地说道：“78年之后……”
这是个让人愤怒的事情！
1960年，徐教授从华清大学毕业，之后就留校任教，再然后，在那个特殊的年代里，被下放到了鄱阳湖，在那边的农场里种水稻。
1971年的某一天，他被农场负责人半夜敲门，还以为自己要完了，没想到，是首都发来急电，让他回首都，有重要任务。
徐教授扔下了稻秧，来到了首都，才知道国家要研制半导体生产的关键设备：光刻机。
当时的他，还只是助教，就去参加这种重点项目，从此，就开始了造光刻机的历史，他永远都没有忘记，当时接受任务时候的激动心情，我们祖国的半导体产业，就寄托在我们身上！
华清大学调动了五个系，数百人的研发团队，开始了辛苦的攻关，从光刻机需要的氦-氖气体激光器的研制做起，到精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、控制计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，所有的设备，都是自己设计自己制造。
就这样，东方第一台投影光刻机终于诞生！
光刻机刚刚诞生的时候，都是接触式光刻机，掩膜直接覆盖到硅片上，直至七十年代，美国Perkin-Elmer公司研制成功1:1投影式光刻机。
把光刻胶涂在硅片上，然后用光源照射，从而把该去掉的光刻胶通过光源给刻蚀掉。
最早用的是汞灯当光源，扫描台拖着硅片，和掩膜一起同步运动，光源通过狭缝变成均匀光，把图案投影到光刻胶上。
仅仅这个装置，就把芯片的良品率从百分之十提升到了百分之七十。
不过，由于要移动，所以个头比较大，结构很复杂，于是，后来美国的GCA公司，又开始搞起来了分步重复精缩投影光刻机，掩膜和硅片不需要同步移动，同时物镜还能缩小倍率，这样掩膜版的制作难度大大降低。
这个东西诞生之后，光刻机的具体技术路线，就固定下来了，之后不断提升光源，改进技术，但是基本结构是不变的，除非是后世那种3纳米芯片需要的EUV光刻机，其余的，都是这个结果。
徐教授他们开始研究之后，瞄准的就是投影式光刻机，前些年，这种光刻机已经研发成功，接下来，就应该再接再厉，研发分步投影的光刻机！
可惜，时代变了！
曾经重要的产品，已经能买到了！
这其中的转折，就是1978年，当时巴黎工业展览会，东方把光刻机送过去了，一番展览之后，西方知道东方能搞这种光刻机了，所以，不用搞什么禁售了。
己方的光刻机在巴黎工业展览会上展示了东方的技术水平，回来后，一个个说要买光刻机的单位，都不要了！
只有109厂采购了一台试用之外，就是9003基地里的那台了。
现在，他们还想要继续研制分步投影光刻机，上面已经犹豫了，不想给提供资金了！
早知道，78年的时候就不去参加展览了！但是……那是上级的命令，己方只能遵守，甚至，当时出国的人，没一个是光刻机的研发人员，在会议现场被问了个灰头土脸，甚至被质疑的假的，要求东方人把这光刻机带走。
眼看要丢人，才赶紧发电报，让徐教授匆匆过去，一番介绍，知无不言，才让外国人相信东方有这个技术！
想起那段历史来，徐教授就是一阵阵的愤怒。
现在，那些人居然还想要卡着他们的预算！
卖不出去，不是我们的原因！明明那些能从国外买回来的光刻机性能还比不上我们的，国内的很多电子厂，还是要去买外国的，他们不过就是想要找机会，出国去看看……
想到这里，徐教授握紧了拳头。
“老徐，你坐下，咱们今天开会，就是商量的，上面不支持，咱们华清大学也会自筹资金搞研发，只是毕竟资金不足，可能会慢一些。”
“按照咱们的计划，资金充足，再有一年就出来了，这样咱们和国外的光刻机差距，就能缩小到零！现在要是没了研发资金，可能会拖个三五年的时间……沈主任，咱们好容易追赶上来，不能再拖延啊！”
芯片行业，摩尔定律就是个魔咒！逼迫着研发人员们日夜不停，不断地研制先进技术。
一步落后，步步落后，现在如日中天的美国的光刻机公司，就是因为打不过岛国的光刻机产业，慢慢地衰落下去，而岛国的光刻机产业，又是被阿斯麦给终结的。
在后世，所有人都知道东方芯片产业落后，但是他们并不知道，其实在七八十年代，东方的芯片产业并没有落后太多，如果加大投资力度，像岛国、南棒子那样，把芯片产业当做主要产业来抓的话，绝对能发展起来的！
毕竟，咱们东方人是全世界最聪明的民族！
可惜啊！
带着这样的想法，走到了会议室门口的秦亮，深深地呼吸了一口气，然后推开了门。
“各位，有咱们西工大，咱们的芯片产业不会落后的！”
众人都是一愣，这谁啊，不认识啊！
不过，这青年身后的人，大家伙是认识的。
“林老，您怎么……”
“嗯，路过，就进来看看，听你们说，咱们这华清大学自研的光刻机，被一群有眼无珠的家伙给无视了，咱们是不会坐视不理的，亮子，把你的想法说说吧。”
秦亮点头：“徐教授，能把我们现在的光刻机性能，给我介绍一下吗？”
“嗯，目前咱们研制的光刻机，可以加工4到6英寸的芯片，工作台行程160毫米X160毫米，理论分辨率0.8微米，实际有效分辨率可以达到1.25微米……”
“这性能不错，咱们要两台！”
两台！
光刻机这东西，那都是手工生产的，哪怕后世光刻机巨头阿斯麦，最先进的EUV光刻机，一年的产能也不过几十台，对华清大学精密仪器系来说，这两台光刻机，够手搓好几个月的了。
“太好了，我们只报成本价……”
秦亮摇头：“不，咱们不占你们华清大学的便宜，国际市场上售价多少，咱们就给多少。”
众人都是一阵兴奋。
“谢谢，太谢谢你了！”徐教授一下子站了起来，握住了秦亮的手：“有了你们的这笔费用，我们就能研发分步投影光刻机了！”
秦亮笑了笑：“这第一台分步投影光刻机，我们也要了！我们还会把全款给你们，你们抓紧时间……到年底前，能给我们研制出来吗？”
东方的半导体工业，已经追赶上来了，绝对不能拖延！有了西工大的这笔经费，就能达到和世界同步水平！
芯片产业的这个短板，要被补上了！
“好！”徐教授点头：“这一年，我就不回家了，天天住在9003……各位，你们想现在去看看吗？”
“好啊。”
今天这会议，就是协商在资金减少的情况下，如何继续搞光刻机开发的事情，现在，不用发愁了！西工大的资金注入，足够让他们完成新的光刻机的开发！
原本需要85年才能问世的分步投影光刻机，81年就能搞出来，和世界同步！
大家伙向实验室而去，穿上防护服，通过了防尘通道，进入到了9003实验基地。
那台参加过巴黎工业展的光刻机，就摆在实验室的中央，这里的温度常年保持在20摄氏度上，正负不能超过0.1摄氏度，防尘标准100级，在1立方米的空气中，浮尘微粒控制在100粒以下……甚至这里的震动幅度，正负不能超过2微米！
其实，想想也知道，你雕刻个1.25微米的硅片，光刻机上下震动一下，哪怕2微米，那雕刻出来的肯定是废品啊！
这要求，就足够体现出来它有多么的高大上了。
秦亮看着这台机器，神情复杂。
“接下来，分步投影光刻机绝对不能对外展示。毕竟，吃过一次亏了，绝对不能吃第二次，如果有上级领导要把机器弄出去炫耀，那就……通知林老。”
78年展示，吃过一次亏了，但是，那些好大喜功的领导们，是不会吸取教训的，等到华清大学的分步投影光刻机研发成功之后，上级领导又要搞什么首都工业展，把光刻机又给展览出去了。
外国人绕着它，上下不停地观摩，提出各种问题，当时，徐教授他们再次知无不言，然后，那些人就把东方的技术都给学去了，尼康的发家，和这次工业展有很大的关系！
林老先是一愣，然后反应过来：“没错，这机器，是要为咱们军队服务的，里面的技术，都是军事机密，谁要敢提议把它展览出去，那就等着吃花生米吧！”
“如果不展示……”
秦亮笑了笑：“酒香不怕巷子深，只要我们技术先进，就不怕卖不出去，简单来说，现在英特尔的芯片，使用的还是3微米工艺，下一个工艺节点才是1.5微米，我们今年量产的芯片，就使用1.5微米工艺，只要芯片上市，看看那些没骨气的家伙，还想不想继续买外国设备。”
“当然，他们或许还想，那华清大学生产出来的设备，全部由我们购买，我们不怕规模大，我们不仅仅可以生产国内需要的芯片，还能给国外代工！这分步投影光刻机，可以进一步提升成品率，国内那些不思进取，盲目崇洋媚外的工厂，彻底落伍淘汰，全部都得破产倒闭！”
徐教授听得是心潮澎湃，眼前这青年，知道目前国内的情况，也做出来了最正确的选择，通过大力支持华清大学的光刻机，从而给整个东方的半导体产业洗牌！
那些崇洋媚外的家伙，真是可恶！
“当然，我也希望咱们华清大学的精密仪器系，能够再接再厉，不断地研发新的光刻机，始终处于世界领先水平，这样我相信，国外客户也会来采购的，到时候……我们也要有选择性的出售，最先进的，先交付给国内，那些落后的，才能卖到国外去。”
“说得对！”徐教授的声音带着颤抖：“哼，到以后，我们也会给西方人设置技术壁垒！”
“秦亮同学啊，我有一个提议。”沈主任开口：“我们华清大学、西工大还有军队，要不要联合起来，成立一个专门的公司？”
林老摇摇头：“咱们是军队，可不能沾染铜臭气，你们放心，咱们提供的支持绝对不会少，至于联合成立公司，还是你们看着办吧。”
八十年代，国家要发展经济，军队要忍耐，眼看着军费越来越少，所以，到了85年，军队就允许经商了，不过……很快，军队经商就出现了一系列重大问题，到了98年，就被彻底叫停。
林老的态度是坚定的，军队绝对不能沾染铜臭气！
沈主任的目光看向了秦亮：“秦亮同学，你觉得如何？”
秦亮点头：“当然没问题！这样一来，我们公司的产品，就完全由我们自己说了算，上级领导也别想用什么行政命令来干涉我们了，华清大学主要靠技术入股，占百分之四十八的股份，我们西工大用资金入股，占百分之四十八的股份，我们公司需要经营场所，这个请军队给我们协调，我们租借军队的营房，总得给点报酬，剩下是百分之四，就是军队的股份。”
秦亮说完，看向了林老：“我们总不能白占军队的地方吧？”
林老神色复杂：“这个我说了不算，需要申请汇报。”
军队的确是穷，但是也不能因为穷，就要别人的施舍，但是，租借营房这个，还真说得通。
而且，林老也能明白秦亮的意思。
技术毕竟都是华清大学的，所以给他们股份少了不合适，而西工大出了钱，占据的股份也不能少，双方一样多，是最平等的，但是，这样一来，谁听谁的？
这个时候，部队占据的百分之四的股份就能派上用场了，别管站是谁的那边，谁就能占比超过百分之五十，以后万一遇到争执，军队就是决定天平倾向的重要砝码。
所以，他没有当下拒绝，回去请示一下，反正这也是为了军队的发展。
“嗯，我也需要回西工大，汇报一下，不过这光刻机的研发不能耽误，这定金咱们还是会尽快给打过来的。”
“好！”
沈主任满脸的兴奋：“秦亮同学，多谢你解决了咱们的后顾之忧啊！”
“当初，秦亮同学要是来了咱们华清大学，那就好了！”
听到徐教授的这句感慨，秦亮的脸上露出了无奈：“唉，当时我也想来，政审有点问题，咱们这边不敢要我啊！”
“是啊。”
“就算是政审取消，那这思想教育，也绝对不能放松啊，得让我们这个新时代的大学生，知道自己是为了什么而学习，尤其是国门打开，见到了外面的花花世界，如果上大学就是为了出国，然后留在国外生活，这的大学生，培养的可都是白眼狼啊。”
一旁，林老心情复杂，你这话是没错，但是……你的丈母娘，就是搞出国留学工作的，你这样说，不是和你的丈母娘唱反调吗？
PS：光刻机原理图，下面的是分步投影，也就是一次就曝光一个，最下面是当时的研发人员。