第627章 难道没有国外的技术，我们就造不出
第627章 难道没有国外的技术，我们就造不出EUV光刻机吗？
“又卡壳了？”
陈延森看完林南的汇报邮件，眉心微蹙。
他没想到，自己都已经把大门踹开，为他们铺好了路，这帮人却还是没能力往前再走一步。
当前的难点有两方面：
第一，中继镜组中的非球面反射镜，需要将面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低于0.1纳米的均方根误差。
换句话说，这相当于要求一块徽安省大小的区域，整体起伏不能超过一张A4纸的厚度。
难度可想而知！
目前，全球仅有灯塔国的赛高、德国的蔡司具备相应水准的镜面抛光工艺。
可受到瓦森纳协定的限制，即便花钱买，也拿不到供货名额。
而哈工大、国防科大和华科协会长春光机所，尽管拥有离子束抛光与磁流变抛光技术，理论上能实现原子级的面形精度，但现实与理论往往存在巨大落差。
这就好比问，国内能造出F1赛车的发动机吗？
按理说，华国不缺能生产金属活塞和气缸的工厂，也清楚内燃机的制造原理。
但F1赛车发动机并非单一部件的简单组合，它是材料学、精密加工、热力学、电子控制系统等顶尖技术的集成体，且对转速、热效率和可靠性的参数标准达到了行业极致。
由此可见，技术原理懂了，要落地到稳定的实际生产中，仍有难以逾越的鸿沟。
明白是一回事，造出来又是另一回事。
第二，镜子打磨完成后，还得在表面镀上40到60对的钼、硅交替薄膜层，且每层厚度的误差都需控制在原子级别。
镀膜环节所需的磁控溅射技术，国内虽有不少研究所已掌握，但在均匀度和精细度上，仍然不符合EUV光刻机的使用需求。
此外，如何精准检测镜面光滑度也是个难题。
没有测量，就没有加工！
检测能力决定了抛光水平的天花板。
2014年华国在高精度干涉仪领域，特别是用于EUV波段的检测设备和技术，根本达不到50皮米的测量精度。
而林南和汪象朝等上百位研发工程师，已是光学赛道的佼佼者，连他们都搞不定的事，再找其他人，大概率也无济于事。
他们尽力了，只是能力有限。
陈延森心里清楚，他要是不出手，这场科研大会战多半要成为一个笑话。
他略一思索，便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。
与此同时。
沪城，星源科技光学研发中心。
林南倚在实验台前，双眼满是红血丝，神色黯淡。
汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀说道：“别着急，车到山前必有路，慢慢啃呗，既然方案都有了，还怕搞不定工艺问题？”
沪城光机所的一名专家点头附和道：“以前我们不需要皮米级别的抛光精度，所以技术进展就慢，现在不一样了，只要搞定照明系统的非球面反射镜，这EUV光刻机的光学系统，就等于拿下了一半的核心技术。”
话虽如此，实验室里的气氛却没怎么缓和。
林南苦笑一声，指着桌上的检测报告：“道理都懂，可现实摆在这里，我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准，面形精度够不够，压根不知道。”
这无异于闭着眼睛走路，方向对不对都不确定，怎么提升？
燕京光电所的年轻工程师语气哽咽，一脸绝望地小声呢喃道：“难道没有国外的技术支持，我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗？”
这话就像一根钢针，把所有人的信心都给戳破了。
“放屁！人家花了几十年积累的技术，我们才用了几天？这点耐心都没有吗？”
汪象朝猛地站起身，大声反驳道：“一个月时间，我们就把照明系统的方案推演出来了，这说明思路是对的。
我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了，接下来大家齐头并进：咱们先攻坚投影物镜系统，等抛光和镀膜技术达标后，再整合各项技术，总能把这块硬骨头啃下来。”
他的话像一剂强心针，让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。
林南深吸一口气，跟着站起来说道：“汪老说得对，咱们先按照分工，集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”
沪城光机所的专家立刻拿出图纸，指着上面复杂的光路结构：“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上，而且要消除各种像差，这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。
我们之前设计的光路，在模拟环境中还存在0.5弧秒的像差偏差，得再优化。”
汪象朝凑到图纸前补充道：“我查过资料，蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片，每片的面形误差都控制在20皮米以内。
我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，后续工艺跟上，说不定就能赶上他们的水平。”
几人越聊越投入，当即围着图纸和电脑忙碌了起来。
汪象朝负责调整光路模拟参数，林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系，剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪，将精力快速投入到各自的工作中。
……
……
次日一早，陈延森给陶静文打去电话，借助孟远志的关系，拿到了一张庐州科大的通行证，可自由进出光电实验室。
镜面抛光和镀膜工艺，都得在实验中不断完善，才能找到优化方向。
光靠理论推算，是得不出结果的。
同一时间，林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员，派往庐州。
当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时，刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。
他不是森联资本的创始人吗？
为什么会在实验室里？
“刘先生，幸会！”陈延森停下手中的动作，径直朝刘峰俊走去，随即伸出右手说道。
“陈先生，您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问，但他也不好直接发问。
他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员，博士学历，智力不俗。
有这样的素养，就注定他不会说出低情商的话。
“实验室刚调试完离子束抛光机，正好你们来了，一起看看参数。”
陈延森收回右手，指向旁边的操作屏，上面跳动着密密麻麻的数据流，随后接着说道：“你们在沪城制作的镜面粗胚我看过了，硅基材质纯度够，初始面形误差还有3纳米，得先过磁流变抛光做预处理。”
刘峰俊瞳孔微缩，心中巨震。
他下意识走到操作屏前，目光落在磁流变抛光的预处理参数上。
令他顿感惊讶的是，屏幕上不仅清晰列出了不同转速下研磨液的颗粒度配比、磁场强度梯度曲线，甚至还标注了“预处理后误差需控制在500皮米内”的明确节点。
“陈先生，您提前算过硅基材料的应力释放曲线？”
刘峰俊忍不住地追问道。
要知道，硅基镜面在研磨过程中会因应力积累产生微小形变，这是超精密加工领域最棘手的难题，也是国内各大高校、研究所迟迟未能突破的技术障碍。
如今，竟在这里见到了解决方案。
他在该领域浸淫多年，正因为他懂，才知道这组参数背后藏着多少巧思。
陈延森微微颔首：“硅基材料的应力释放有滞后性，预处理时得留0.3%的补偿量，不然抛光后冷却会出现回弹误差，先做事，有疑问随时问我。”
“小王，按这个参数调磁流变抛光机，先测第一块粗胚的应力分布。”
刘峰俊转头对身后的研究员吩咐，声音里带着难掩的急切。
陈延森没再多说，转身走向另一台设备。
接下来的一段日子，刘峰俊跟在陈延森屁股后面打转，完全是一副学生、助手兼跟班的姿态。
他越深入了解，越能体会到陈延森在超精密加工领域的惊人天赋。
曾几何时，刘峰俊也是高考状元，还考进了国防科大的少年班，在同龄人中属于科研天才，但在陈延森面前，却犹如蚍蜉望青天一般。
陈延森每天只会在庐州科大待两个小时，大部分工作由刘峰俊等人承担。
他们先开发了子孔径拼接技术，继而引入计算全息片技术，并通过配备原子力显微镜和光学散射仪，率先把检测精度提升到了皮米级别。
消息一出，沪城光学部的研发中心，所有人的精神瞬间为之一振。
毕竟有了测试工具，工艺改良就有了正确的方向可循。
另一边。
清华、华科协会仪器研制中心和北方微电子科技，在获得最新版的磁控溅射技术后，立即开始了靶材和镀膜设备的研发工作。
然而，首个难关就卡在了钼硅材料的纯度与微观结构的均匀性上。
陈延森在得知后，把真空热压烧结和等离子体致密化技术结合在一起，立马就打通了靶材纯度和结构上的拥堵点。
瓶颈一破，后续研发便如打通了任督二脉。
照明系统的研发进度突飞猛进！