第197章 涌向CK的暗流

荷蓝,埃因霍温,阿斯唛(ASM)研发实验室。

空气中弥漫着一种近乎凝固的兴奋,混合着精密仪器的特殊冷却液气味和咖啡的浓郁香气。

巨大的洁净室内,一台庞大而复杂的机器,人类历史上第一台极紫外(EUV)光刻机原型机,正静静地矗立在中央,仿佛一头蛰伏的金属巨兽。

虽然它此刻的晶圆良品率低得可怜,仅有30%,光源输出功率也忽高忽低,稳定性堪忧,远未达到商用标准,但这并不妨碍围绕它的研发人员们脸上洋溢着巨大的成就感和狂喜。

突破了!

他们真的突破了物理的极限,为摩尔定律的延续凿开了一道新的曙光!

与已经十分成熟、但已逼近物理极限的深紫外(DUV)光刻机相比,这台EUV是通向7nm乃至更先进制程的全新道路。

实验室的门滑开,阿斯唛总裁皮特·温尼克面带笑容地走了进来,立刻被热烈的掌声和欢呼包围。

他热情地与每一位核心工程师握手,声音洪亮而充满感染力。

“女士们,先生们!

今天,你们创造了历史!

这台机器,不仅仅是一台光刻机,它是人类智慧对抗物理法则的又一次伟大胜利!

它证明了我们阿斯唛走在正确的道路上,证明了全球协作的力量!

EUV的时代,将由我们一同开启!”

狂欢的气氛被推向了高潮。

香槟酒塞“嘭”地打开,泡沫四溅。

在一片欢腾中,温尼克将EUV项目负责人,来自台机电的技术大拿闫涛南叫到了一旁相对安静的角落。

温尼克脸上的笑容稍稍收敛,他需要了解更现实的情况。

“闫,干得漂亮!

但现在,我需要知道最真实的数据。

如果我是说如果,我们的关键子系统被迫启用备用供应商,对良率的影响具体有多大?”

闫涛南推了推眼镜,技术人的严谨让他迅速进入状态,语气清晰而准确。

“温尼克先生,情况如下:

光源系统:

目前我们使用北美Cymer的LPP(激光等离子体)光源,能量转换效率达到5.5%。

如果换用备用供应商得国TRUMPF的30kW二氧化碳激光器,其转换效率为3.42%,且稳定性稍逊。

模拟结果显示,这会导致整体良品率下降约5%。

光学系统:

核心是得国蔡斯(ZEISS)的EUV反射镜,其表面粗糙度控制在惊人的0.1nm以内。

如果启用备用方案,即霓虹尼糠(Nikan)和佳(Conon)的组合,他们的镀膜工艺目前难以达到同等水平,可能会引入更高的缺陷密度。

估算下来,反射镜缺陷率若从蔡斯的0.001个/平方厘米上升到0.03个/平方厘米,良品率将下降10%。

对准系统:目前我们采用的是来自种花的橙科(CK)的对准子系统。

它的静态精度达到了0.000018°/h,动态群体校正算法能有效补偿振动,定位误差控制在亚纳米级。

如果换回我们之前使用的得国蔡斯方案,其动态误差控制略逊,可能导致套刻误差增加,良品率预计下降5%。”

提到“种花的CK”时,闫涛南的语气微微一顿,一丝极其复杂的情绪在他眼中一闪而过。

那是一种夹杂着对同胞技术崛起的微妙自豪感,与对两岸未知竞争格局潜藏的不安。

温尼克认真地听着,手指无意识地轻敲着桌面。

“我明白了!我们阿斯唛能成为全球光刻机的领导者,正是因为我们汇聚并整合了全球最顶尖的技术。

自己搞全产业链的霓虹和北美对手,反而被我们甩在了身后。”

温尼克脸上重新露出笑容,用力拍了拍闫涛南的肩膀。

“闫,你的工作无比出色,董事会已经批准,正式任命你为阿斯唛全球副总裁,全面负责EUV后续的迭代和商业化量产!这是你应得的!”

“非常感谢您的信任,温尼克先生!”闫涛南激动地与总裁握手。

离开EUV实验室的喧嚣,温尼克又来到了隔壁的DUV光刻机研发中心。

这里的气氛相对沉稳,技术更加成熟。

他找到了负责DUV的副总裁兼首席技术官马丁。

“马丁,我们新一代的NXE:3300B DUV光刻机(用于7nm及以上制程),换装了新的子系统后,效果如何?”

马丁脸上洋溢着自信的笑容。

“非常好,温尼克!

原本我们的新一代DUV光刻机的良品率基准在50%。

换装北美Cymer的新光源后,提升了10%。

采用得国蔡斯最新的光学系统,又提升了10%。

最关键的是,引入了你上次特批的那家种花企业CK Micro Motor的对准子系统,再次提升了10%!

现在NXE:3300B的稳定良品率达到了惊人的 80%!

远远超过霓虹尼糠最新机型NSR-S635D的两倍。

我们在DUV光刻机领域的优势,还在扩大!”

温尼克满意地点点头。

这正是他全球化供应链战略的成功印证,用世界最好的技术,造世界最好的机器。

“很好!EUV项目继续推进,督促所有供应商,尤其是Cymer、蔡斯和CK,尽快优化技术,解决更多的技术问题,目标是早日实现EUV的商业化量产!”

“至于新一代的DUV光刻机,全面采用这些新的、经过验证的顶尖子系统方案,立刻扩大采购,巩固我们的市场领先地位!”

命令迅速下达。

阿斯唛的供应链采购工程师们,带着雪片般的新订单,飞往北美、得国,以及大洋彼岸遥远的种花。

飞往种花的,依然是橙科的老熟人--保罗。

这次,他甚至回去带上了自己的女儿艾丽,想让她亲眼看看这个正在飞速崛起的神秘东方国度。

与此同时,在得国奥伯科亨,蔡斯总部。

一位阿斯唛的光学系统采购工程师刚与蔡斯团队结束会议,在走廊里巧合地遇到了另一位来访者,全球精密机床制造巨头得马吉(DMG Mari)的采购工程师。

对方正在考察蔡斯的光学和对准系统,旨在为得马吉与霓虹森晶机(Mari Seiki)合作研发的下一代六连轴精密数控机床,寻找核心部件。

闲聊中,阿斯唛的工程师无意间提及,在新一代DUV光刻机上,阿斯唛的对准系统并未采用蔡斯,而是选用了一家名为“CK Micro Motor”的供应商,其精度表现甚至更优。

说者无心,听者有意。

这位得马吉的工程师大为惊讶,竟有其他公司的对准系统能压过蔡斯一头?

他立刻将这个消息,报回了得马吉总部。

正在为六轴数控机床精度瓶颈焦头烂额的得马吉首席技术官收到消息,立刻动用资源打听。

确认消息属实后,他迅速将情况通报给了合作方霓虹森晶机。

希望他们能派人前往种花,实地考察这家神秘的CK公司,验证其宣称的“CK-PAS 1.0精密对准系统”那高达“0.000018°/h”的静态精度是否属实。

如果为真,得马吉希望通过森晶机采购一批样品,用于联合研发项目。

森晶机方面的项目联络人接到消息时,第一反应是难以置信:“纳尼?种花?那种精密技术的荒漠,会有超越蔡斯的技术?”

再三与得马吉确认后,森晶机不敢怠慢,派出了以首席技术官田中建一为首的考察团队,前往种花山城。

而此时在北美,另一条线也悄然启动了。

霍尼韦尓(Honeywall)总裁高得威(David Cate)刚刚松了一口气。

他们凭借着新新款的“HGX-9000 Ultima Gyro”的超精密陀螺仪(精度0.00001°/h)

在诺各“民兵3”洲际弹道导弹惯性导航系统升级项目的竞标中,击败了老对手基而福特(Kearfott)的激光陀螺仪方案(精度0.00015°/h),拿下了单价高达600万美元的订单。

只有霍尼韦尓内部极少数人知道,这款“HGX-9000”的核心。

其实就是将从阿斯唛那里以450万美元一套采购来的“CK-PAS 1.0精密对准系统”拆解后,得到的四枚“MYT-3.0超精度陀螺仪”经过重新包装和测试的产物。

阿斯唛在这中间,甚至还赚了50万的差价。

度过了华尓街施加的换总裁危机后,高得威立刻动了心思:为何不绕过中间商,直接联系源头?

这样既能降低采购成本,也更隐蔽安全。

于是,在高得威的主导下,一项秘密行动展开。

为规避严格的出口管制和监管,霍尼韦尓通过一家在开曼群岛注册的匿名壳公司“阿尔法科技”(Alpha Technology)作为白手套。

这家公司由霍尼韦尓亚太区一位高管通过离岸信托匿名持股,注册资本500万美刀,表面主营业务是“工业传感器贸易”。

“阿尔法科技”利用其港城子公司作为资金中转站,伪造了采购合同(声称购买“高精度倾角仪用于东南亚矿山的隧道安全监测”),掩盖真实用途。

随后,一位名叫林德名(Lim Teck Beng)的杏儿坡籍采购经理被派出,他的任务就是联系上种花的CK Micro Motor。

山城,橙科微电机厂。

随着全新门头的更换与厂区的扩建,如今的它早已今非昔比。

曾几何时,这里还只是家年营收仅200万、在时代浪潮中濒临倒闭的小厂。

而橙子公司近3000万资金的注入,再加上MYW系列微电机与MYT系列陀螺仪技术的加持,犹如一场及时雨,彻底改写了它的命运。

如今,凭借近3亿的月营收,这家主打精密制造的工厂,已然成为山城制造业中备受瞩目的新星。

厂区内,现代化的生产车间鳞次栉比。

主打产量的手机用马达和陀螺仪生产线火力全开,本地招来工人们身着整洁的工作服,有条不紊地操作着精密设备。

专注于手机马达生产的区域内,流水线设备高效运作不停歇。

基于MYW-1.0微电机技术制造的小型精密的偏心马达,正沿着流水线源源不断地完成成型工序。

这些马达,将被装配到无数橙子2手机之中,为手机的体感交互操作系统,提供关键硬件动力反馈。

旁边生产陀螺仪的生产线同样忙碌,虽然MYT-2.0陀螺仪体型微小,但其制造工艺极为复杂,对精度要求也相对高,都是厂里的老人在做。

经过一道道严苛工序,合格的MYT-2.0陀螺仪从这里源源不断产出,为橙子2实现“体感感知”等功能奠定基础。

而在厂区的另一侧,是主打高端产品的生产区域。

用于制造精密对准子系统的实验室,环境要求近乎苛刻,恒温恒湿,洁净度达到了千级。

这里的设备更为先进,研发人员和技术工人专注投入,精心雕琢每一个零部件。

橙科现在的精密对准子系统,正在推广到高端精密设备、光刻机等领域,是决定产品精度的核心部件,橙科微电机厂正努力在这一高端领域站稳脚跟。

不远处,生产超高精度MYT-3.0陀螺仪的区域,同样安静而有序。

这种陀螺仪精度远超普通产品,被应用于航天、军工等对精度要求近乎极致的行业。

周明哲逐渐成型研发团队日夜攻坚,不断优化技术,力求让橙科高端产品的性能,更上一层楼。

整个厂区充满生机与活力,运输原材料和成品的车辆在厂区道路上来回穿梭。

仓库里,各类产品分类存放,等待发往深城或者就是荷蓝。

这天,橙科外联业务部的主管看着几乎同时收到的三份考察预约函,感觉头皮有点发麻。

第一份来自老朋友,荷蓝阿斯唛的保罗。

这很正常,大概率是来谈新一轮DUV光刻机对准系统的订单,甚至可能是探讨EUV对准系统技术迭代的可能性。

第二份来自霓虹,全球精密机床巨头森晶机,首席技术官田中建一亲自带队!

这可真是稀客,目的不明,但来头不小。

第三份则来自一家名不见经传的“阿尔法科技”,一个杏儿坡经理林德名,声称是东南亚矿业集团,要采购用于“隧道监测”倾角仪所需的高精度陀螺仪。

外联业务部的主管,把这三份考察预约函,送到了冯厂长的案头。

前面两个,基本都没什么问题!

倒是那个什么“阿尔法”,冯厂长让人查了又查,根本没听说过东南亚有叫“阿尔法”的大型矿业集团。

曾在国企经历过上世纪八九十年代外贸风波的冯厂长,警惕心瞬间拉满.

那年头,外国骗子可是花样百出!

“得!不来则已,一来全赶一窝了!”

冯厂长揉了揉太阳穴,对助理吩咐道:“都安排接待!但规格不同!”

“阿斯唛是VIP,森晶机按重要客户标准,那个什么阿尔法先按普通商务接待,但给我多留个心眼,套套他们的底!”

可以预见,偏居山城一隅的橙科微电机厂,即将迎来一波不同寻常的“国际考察团”,一场围绕全球尖端精密技术的暗流,正悄然向这里汇聚。

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黑科技创业:我真是造手机的啊!
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